חזרה

סילבוס

מספר קורס 0512-4700-01
שם הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה
יחידה אקדמית הפקולטה להנדסה ע"ש איבי ואלדר פליישמן -
מגמה להנדסת חשמל
מרצה ד"ר אסיה בן כהןצרו קשר
צור קשר דוא"ל: asiasapi@tauex.tau.ac.il
שעות קבלה בתאום מראשבניין: וולפסון תוכנה , חדר: 310
אופן ההוראה שיעור
שעות סמסטריאליות 3
סמסטר ב' תשפ"ב
יום ב
שעות 08:00-11:00
בניין
חדר
אין סילבוס

תוכן הקורס ומטרתו

תהליכי ייצור-כללי, המבנה הגבישי של סיליקון, פגמי סיליקון, תהליכי ייצור סיליקון
(FZ,CZ), השתלת יונים, דיפוזיה, נידוף וגידול שכבות דקות (נידוף, ספטריניג, CVD, PECVD, חמצון סיליקון), תהליכי עיבוד (איכול רטוב, איכול יבש-פיזיקלי, כימי ו-RIE), פוטוליטוגרפיה, ציפויים מוליכים, מגעים חשמליים, טכנולוגיית התקנים (ביפולרית BIMOS, pMOS, nMOS ), נצילות ואמינות התקנים מיקרואלקטרוניים, שיטות CAD וכללי תכנון.



טרם פורסם סילבוס מפורט
מטלות הקורס

בחינה סופית

ייתכנו מטלות נוספות
רשימת המטלות המלאה תופיע בסילבוס המפורט של הקורס.

קורסי קדם נדרשיםהתקנים אלקטרוניים (05122508)


tau logohourglass00:00