חזרה

סילבוס

מספר קורס 0512-4700-02
שם הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה
יחידה אקדמית הפקולטה להנדסה ע"ש איבי ואלדר פליישמן -
מגמה להנדסת חשמל
אופן ההוראה תרגיל
שעות סמסטריאליות 1
סמסטר ב' תשפ"ב
יום ג
שעות 14:00-15:00
בניין שאפל - עבודה סוציאלית
חדר 056
אין סילבוס

תוכן הקורס ומטרתו

תהליכי ייצור-כללי, המבנה הגבישי של סיליקון, פגמי סיליקון, תהליכי ייצור סיליקון
(FZ,CZ), השתלת יונים, דיפוזיה, נידוף וגידול שכבות דקות (נידוף, ספטריניג, CVD, PECVD, חמצון סיליקון), תהליכי עיבוד (איכול רטוב, איכול יבש-פיזיקלי, כימי ו-RIE), פוטוליטוגרפיה, ציפויים מוליכים, מגעים חשמליים, נצילות ואמינות התקנים מיקרואלקטרוניים.



הסילבוס המפורט מפורסם לתלמידי הקורס בלבד
מטלות הקורס

ייתכנו מטלות נוספות
רשימת המטלות המלאה תופיע בסילבוס המפורט של הקורס.

קורסי קדם נדרשיםהתקנים אלקטרוניים (05122508)

דרישות קדם ספציפיות בקורס בהתאם לתוכנית הלימודים הנלמדת,
מופיעות בדף הידיעון של התוכנית



tau logohourglass00:00