חזרה

סילבוס

מספר קורס 0512-4700-02
שם הקורס טכנולוגיות מיקרו וננו אלקטרוניקה
יחידה אקדמית הפקולטה להנדסה ע"ש איבי ואלדר פליישמן -
מגמה להנדסת חשמל
אופן ההוראה תרגיל
שעות סמסטריאליות 1
סמסטר ב' תשפ"ב
יום ג
שעות 12:00-13:00
בניין כיתות הנדסה
חדר 207
אין סילבוס

תוכן הקורס ומטרתו

תהליכי ייצור-כללי, המבנה הגבישי של סיליקון, פגמי סיליקון, תהליכי ייצור סיליקון
(FZ,CZ), השתלת יונים, דיפוזיה, נידוף וגידול שכבות דקות (נידוף, ספטריניג, CVD, PECVD, חמצון סיליקון), תהליכי עיבוד (איכול רטוב, איכול יבש-פיזיקלי, כימי ו-RIE), פוטוליטוגרפיה, ציפויים מוליכים, מגעים חשמליים, טכנולוגיית התקנים (ביפולרית BIMOS, pMOS, nMOS ), נצילות ואמינות התקנים מיקרואלקטרוניים, שיטות CAD וכללי תכנון.



טרם פורסם סילבוס מפורט
מטלות הקורס

ייתכנו מטלות נוספות
רשימת המטלות המלאה תופיע בסילבוס המפורט של הקורס.

קורסי קדם נדרשיםהתקנים אלקטרוניים (05122508)


tau logohourglass00:00