תוכן הקורס ומטרתו
יישומים עיקריים של מערכות זעירות. סקירה של שיטות הייצור. שיטות הפעלה (אקטאציה) וחישה. דוגמאות של מפעיל אלקטרוסטאטי ואלקטרותרמי. מערכות רציפות - מיתרים, קורות, פלטות. יציבות של מבנים זעירים תחת כוח אלקטרוסטטי. פתרונות מדויקים ומקורבים, מודלים reduced order. דינאמירה של מבנים זעירים תחת הפעלה אלקטרוסטאטית ואלקטרותרמית. יציבות דינאמית. הפעלה פראמטרית, משוואות Duffing, Mathieu. מנגנוני ריסון ב MEMS, תופעת ה-squeeze film, משוואת Reynolds/ עיישומים, חיישנים אינרציאליים-מד תאוצה ומד קצב זוויתי (ג'ירו). מתנדים זעירים, חיישני מסה.
לסילבוס המפורט