תוכן הקורס ומטרתו
אפיטקסיה, הגידול של שכבות חד-גבישיות דקות על מצע גבישי, היא אחת מהטכנולוגיות שנשאו על כפיהן את מהפכות המידע והתקשורת בסיבים אופטיים בעשורים האחרונים. בקורס נלמד: מהי אפיטקסיה ומה חשיבותה במדע ובתעשייה. שיטות גידול אפיטקסיאלי מהנוזל, מהמוצק ומהגז. פני השטח של מוצקים בשיווי משקל בשכבות הומו- והטרו- אפיטקסיאליות, לרבות צורות של גבישים ופני שטח, אופני גידול והרפיית עיבורי אי-תאום. זרימת מדרגות לעומת גידול איים. דינמיקת ההתפתחות של המורפולוגיה המשטחית במשטרי גידול שונים. אי יציבות בגידול. האפקט של מזהמים וחומרים פעילי שטח.
ספרי לימוד:
ספר לימוד 1: שם המחבר: M.A. Herman, W. Richter and H, Sitter
שם הספר: Epitaxy: Physical principles and technical implementation
מו"ל Springer שנת ההוצאה 2010
ספר לימוד 2 : שם המחבר: U.D. Pohl
שם הספר: Epitaxy of semiconductors: Introduction to physical principles
מו"ל Springer שנת ההוצאה 2013
ספר לימוד 3 : שם המחבר: J.Y. Tsao
שם הספר: Materials fundamental of molecular beam epitaxy
מו"ל Academic Press שנת ההוצאה 1993
דרישות קדם:
קורסים המכסים את הנושאים של: תרמודינמיקה של חומרים או תרמודינמיקה כימית; קינטיקה של ריאקציות כימיות.
הרכב הציון:
80% ציון בחינה מסכמת
20% תרגילי בית
הסילבוס המפורט מפורסם לתלמידי הקורס בלבד